>> 技術參數 
 ◆ 外形尺寸(不包括報警燈)  
  1650(W)×1750(D)×2450(H)mm  
 ◆ 倉體結構(不銹鋼，約1200升)  
  1003(W)×1270(D)×915(H)mm  
 ◆ 電極面積 (水冷垂直電極)
  1117.6(D)×609.6(H)mm ，13層 
 ◆ 等離子發生器(美國AE)  
  頻率40KHZ,功率0-10KW連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作 
 ◆ 控制系統  
  觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品**電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式  
 ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)  
  英國愛德華(ULVAC)爪式干泵   GV160 (160m3/h) 
  英國愛德華羅茨泵    EH1000(280L/S)  
  臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康高精度真空計、傳感器 
 ◆ 充氣系統  
  美國MKS高精度電子質量流量計(五路氣體配制)
  美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥  
  日本SMC及CKD高真空氣閥組件